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型号 | VHX-S650E | |||
XYθ 平台 | XY 平台电动／手动 | 电动 | ||
XY 平台移动量 | ±20 mm | |||
θ 旋转角 | ±90 度 | |||
XYθ 平台尺寸 | 上方 171×168 mm(中央圆板 ø100) | |||
透过照明观测对应倍率 | 20 倍以上 | |||
Z 平台 | Z 平台电动／手动 | 电动 | ||
Z 自动平台马达 | 5 相步进马达 | |||
Z 自动平台移动速度 | 17 mm／秒(最大) | |||
Z 平台移动量 | 49 mm | |||
载重 | 5 kg | |||
XYθ 平台 | XY 自动平台马达 | 2 相步进马达 | ||
XY 自动平台分辨率 | 1 µm(typ.) | |||
XY 自动平台移动速度 | 10 mm／秒(最大) | |||
Z 平台 | Z 自动平台分辨率 | 0.1 µm(typ.) | ||
电源 | 电源电压 | 100 至 240 VAC，50／60 Hz | ||
消耗功率 | 60 VA | |||
环境抗耐性 | 环境温度 | +5 至 +40 °C | ||
相对湿度 | 35 至 80 % RH (无凝结) | |||
重量 | 约 18 kg | |||
